氦質譜檢漏儀是一種常用于檢測真空系統或密封容器中泄漏的高精度儀器。它利用氦氣分子的小尺寸和低豐度，通過注入少量氦氣并檢測溢出的氦氣分子來定位泄漏源。
氦質譜檢漏儀的主要組成部分包括一個泵、一個注氦單元、一個離子化室、一個質譜分析器和一個檢測器。在操作時，首先將氦氣注入被檢測系統中，然后利用泵將系統抽真空，這樣如果有泄漏存在，氦氣分子會從泄漏口進入檢漏儀，并在離子化室中被電離。電離后的氦分子帶電荷進入質譜分析器，通過分析不同帶電荷的氦分子的質量來確定泄漏的位置和大小。
氦質譜檢漏儀具有很高的檢測靈敏度，能夠檢測到非常小的泄漏。同時，它也可以檢測各種類型的氣體和蒸汽泄漏，不受測試環境中的其他氣體影響。由于其高精度和可靠性，氦質譜檢漏儀被廣泛應用于航空航天、汽車、制藥、半導體等各個領域。
是在真空條件下對泄漏探測和密封性檢驗的理想解決方案。示蹤氣體氦氣是安全的、小而輕的分子，適合于探測小的泄漏。在真空檢驗情況下，氦氣的檢測范圍在10-2和10-13Pa·m3/s之間。氦氣檢漏儀的泄漏檢測是極精準、定量并且可重復的。節拍時間短也是一大優勢。
總的來說，氦質譜檢漏儀是一種高精度、可靠的泄漏檢測儀器，在許多行業中得到廣泛應用。雖然其使用成本較高，但由于其能夠檢測到非常小的泄漏并提供精確的泄漏位置信息，因此仍然是許多企業選擇的s選檢漏工具。
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